采用變螺距設計，功耗更低，電機泵體同軸設計，高效率更可靠
精巧矢量控制變頻器，工作環境20~40℃，內置STO/PLC，瞬時斷電自啓動
不接觸式密封，不會產生顆粒物 幹式抽氣，無油氣返流
密封灌膠電機風冷設計，密封絕緣，針對性的塗層工藝，適應各類腐蝕工況
穩定的極限真空，提供穩定的制程支持 寬壓力段作業，提供高抽氣效率
| 型號 | VSP8 | VSP20 | VSP40 | VSP60 | ||
| 峰值抽速 | m³/h | 8 | 20 | 32 | 50 | |
| L/ min | 130 | 330 | 530 | 830 | ||
| CFM | 1.7 | 11.7 | 18.8 | 29.4 | ||
| 極限真空度 | Pa | 1 | 1 | 1 | 3 | |
| Torr | 7.5x10⁻³ | 7.5x10⁻³ | 7.5x10⁻³ | 2.3x10⁻³ | ||
| mbar | 1×10⁻² | 1×10⁻² | 1x10⁻² | 3x10⁻² | ||
| 氣體吹掃 | 幹燥氮氣/幹燥壓縮空氣 | slm | / | 0~100 | 0~100 | 0~100 |
| 氣壓表顯示壓力 | Mpa | / | 0.04~0.07 | 0.04~0.07 | 0.04~0.07 | |
| 快換管接頭 | / | 氣管快速接頭φ6mm | ||||
| 氣體質量 | ISO8573 Class 2 | |||||
| 額定功率 | kW | 1.8 | 1.8 | 1.8 | 2.2 | |
| 極限運行功率 | kW | 1.1 | 1.1 | 1.1 | 1.1 | |
| 重載功率 | kW | 3 | 3 | 3 | 3 | |
| 輸入電源 | 單相200~240V | 單相200~240V | 單相200~240V | 三相380~415V | ||
| 輸入頻率 | 50/60Hz | |||||
| 極限真空電流 | A | 6 | 7 | 8 | 1.5 | |
| 峰值電流 | A | 13 | 13 | 13 | 6 | |
| 控制功能 | PID功能 | |||||
| 模擬量輸入 | ||||||
啓動方式：端子啓動、通訊啓動 | ||||||
| 通訊功能:MODBUS-RTU | ||||||
| 進氣/排氣接口 | KF25/KF16 | KF25 | KF25 | KF40/KF25 | ||
| 水汽處理能力 | g/h | 135 | 200 | 200 | 250 | |
| 冷卻方式 | 強制風冷 | |||||
| 油量(油品) | ml | 80(氟油) | ||||
| 環境溫度(儲存溫度) | ℃ | 5~40(-5~50) | ||||
| 噪音 | dB(A) | ≤58 | ≤60 | ≤60 | ≤63 | |
| 重量 | kg | ≤38 | ≤48 | ≤48 | ≤75 | |
| 尺寸(L*W*H) | mm | 520×300×320 | 600×300×320 | 600×300×320 | 663×350×400 | |
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