清潔無油
羅茨真空泵屬于幹式無油真空泵，這種設計消除了被油或其他潤滑劑汙染的風險，使幹式泵非常適用于需要高純度和清潔度的應用，同時也避免油乳化發生卡機損害。此外，幹式泵通常不需要油品消耗，僅需較少的維護，而且因消除漏油的風險，也不涉及處理受汙染的液體，所以更環保。
增大抽速
非接觸式抽氣腔，高速運行，同樣抽速更加節能；與前級組合，對比相同抽速的單一前級，抽速增大，能耗降低。
提高極限
增配羅茨真空泵後系統極限壓強降低一個數量級，給真空系統提高10倍以上真空度，即降低一個數量級的氣體壓力，爲系統提供更加穩定的真空度，前級泵真空度有所下降時，也能穩住真空度。
